對于潔凈室的塵源，除了來自室外大氣的塵粒和進入潔凈室的人和物攜帶的灰塵之外，潔凈室內的發(fā)塵源主要來自于潔凈室內操作人員，潔凈室的圍護和潔凈室內生產工藝設備和生產過程的產塵。
1、潔凈室內作業(yè)人員的產塵。作業(yè)人員的產塵與所穿的潔凈工作服的材料、型式、著裝情況和作業(yè)人員本身的動作有關。因此，潔凈室內的作業(yè)人員必須穿規(guī)定的工作服而且動作也要受到一定的限制。
通常情況下，一般電子裝配工藝穿全身型潔凈工作服輕微動作時，人員的產塵量為3.5 ~ 5.0×10⁵個/人·分（≥0.5µm）。是潔凈室內的zui主要的發(fā)塵源。
2、潔凈室圍護和室內表面的產塵。隨著潔凈室裝修材料的發(fā)展，耐磨、抗靜電、少產塵的材料出現(xiàn)，潔凈室內建筑產塵量越來越小。一般認為潔凈室單位建筑面積產塵為3 ~ 5.0×10⁴ /m²·分（≥0.5µm）。可見10平方米建筑產塵只相當一個作業(yè)人員的產塵量。
3、生產設備和生產過程的產塵：這一產塵量與設備和生產過程本身有直接關系。不同設備、不同生產工藝的產塵量差別極大。在日本的資料介紹，一臺電動機的產塵量大約為4.5 ~ 45×10⁴個/臺·分（≥0.5µm）。